無塵車間地面平整度與硬度要求如下：
在平整度方面，無塵車間地面通常要求達到較高標準。以十萬級無塵車間為例，地面平整度一般要求用2米靠尺和塞尺檢查時，平整度偏差不超過2至3毫米。在一些關鍵區域，如高精度檢測設備放置區，地面平整度要求可能更高，偏差可能要求控制在1至2毫米以內。這是因為平整的地面有助于減少灰塵積聚，方便清潔和維護，同時也為設備的安裝和穩定運行提供良好基礎。
在硬度方面，無塵車間地面，尤其是環氧地面，其硬度合格指標一般為2H以上。這個標準是通過鉛筆硬度測試來衡量的，即使用不同硬度的鉛筆在地面上進行劃痕測試，觀察地面是否出現明顯的劃痕。合格的硬度能夠確保地面在使用過程中具有一定的耐磨性、抗壓性和抗沖擊性，從而滿足無塵車間的生產需求。環氧地面的硬度受多種因素影響，包括原材料選擇、施工工藝和維護保養等。
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